根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，對潔凈廠房中需要微振控制的精密設(shè)備儀器或房間（區(qū)域），進(jìn)行微振控制設(shè)施的建造質(zhì)量進(jìn)行檢測。一般采用微振測試分析系統(tǒng)進(jìn)行測試，包括微振動(dòng)傳感器、專用儀器和計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)等。